[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物在审
| 申请号： | 201780038336.9 | 申请日： | 2017-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN109313400A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 川野伸一;大日向秀收 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有优良的抗蚀剂剥离性能、并且在纯水漂洗时抗蚀剂剥离物在基板上的再附着(抗蚀剂残渣)极少的抗蚀剂剥离液组合物。所述抗蚀剂剥离液组合物是在(A)抗蚀剂剥离液100质量份中配合0.01～10质量份(B)分子中具有氧化烯基的表面活性剂而成的，所述(B)表面活性剂由下述的氧化烯表面活性剂制成：在水晶振子微天平法中，在水晶振子测定基板上的氧化铟锡(ITO)膜面上附着的所述表面活性剂在流水下于1000秒以内单调地减少并消失，其中，所述(B)表面活性剂的附着量为1nmol/cm2～20nmol/cm2，所述ITO膜面的所述流水的流速为0.1mL/分钟，所述水晶振子的振荡频率为4.95MHz。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂剥离液 表面活性剂 水晶振子 抗蚀剂剥离 质量份 氧化烯表面活性剂 流水 抗蚀剂残渣 测定基板 纯水漂洗 氧化烯基 氧化铟锡 振荡频率 附着量 微天平 再附着 附着 基板 单调 配合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，该组合物是在(A)抗蚀剂剥离液100质量份中配合0.01～10质量份(B)分子中具有氧化烯基的表面活性剂而成的，所述(B)表面活性剂由下述的氧化烯表面活性剂制成：在水晶振子微天平法中，水晶振子测定基板上的氧化铟锡(ITO)膜面上附着的所述表面活性剂在流水下于1000秒以内单调地减少并消失，其中，所述(B)表面活性剂的附着量为1nmol/cm2～20nmol/cm2，所述ITO膜面的所述流水的流速为0.1mL/分钟，所述水晶振子的振荡频率为4.95MHz。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于野村微科学股份有限公司，未经野村微科学股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780038336.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
