[发明专利]涂布方法有效
| 申请号： | 201780040555.0 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109414721B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吉田省吾;小椋浩之;吉田隆一;髙桥保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D1/40 | 分类号： | B05D1/40;B05D1/36;B05D3/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在圆形基板(W)上形成药液的贮液部(PD)之前，形成螺旋状的药液膜(CF)。贮液部(PD)的药液会与螺旋状的药液膜(CF)好好地溶合为一。为此，在使圆形基板(W)旋转来扩展贮液部(PD)的药液以覆盖螺旋状的药液膜(CF)时，会使贮液部(PD)的药液良好地扩展。另外，在贮液部(PD)的药液扩展时，能使螺旋状的药液膜(CF)的表面的凹凸变为平坦。由此就可以防止断膜等，且可以在圆形基板(W)上形成高黏度的药液膜(CF)时使膜厚均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布方法，用以将300cP以上的高黏度药液供给至圆形基板上并在所述圆形基板上形成药液膜；所述涂布方法具备：使所述圆形基板以第一转速旋转，且一边使位于所述圆形基板的上方的药液喷嘴沿着所述圆形基板的半径方向移动，一边从所述药液喷嘴将药液喷出至所述圆形基板上，由此形成螺旋状的药液膜；在形成所述螺旋状的药液膜之后，从所述药液喷嘴将药液喷出至所述圆形基板的中心部，由此在所述圆形基板的中心部形成药液的贮液部；以及在形成所述药液的贮液部之后，以比所述第一转速更快的第二转速使所述圆形基板旋转，由此来扩展所述贮液部的药液以覆盖所述螺旋状的药液膜。
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