[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列有效

专利信息
申请号: 201780040692.4 申请日: 2017-04-20
公开(公告)号: CN109417106B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 小川新平;藤泽大介;岛谷政彰;奥田聪志 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L31/111 分类号: H01L31/111
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 金春实
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 对入射到石墨烯层的电磁波进行光电变换而检测的电磁波检测器包括:基板,具有表面和背面;下部绝缘层,设置于基板的表面上;设置于下部绝缘层上的铁电体层、及隔着铁电体层相向配置的一对电极;上部绝缘层,设置于铁电体层上;以及石墨烯层,在下部绝缘层及上部绝缘层上以连接2个电极的方式设置,或者,包括:石墨烯层,设置于下部绝缘层上;以及在石墨烯层上经由上部绝缘层设置的铁电体层、及隔着该铁电体层相向配置的一对电极,与下部绝缘层相反的一侧的石墨烯层的表面是电磁波入射面,由于电磁波,铁电体层的极化值变化,对石墨烯层施加电压。
搜索关键词: 电磁波 检测器 以及 阵列
【主权项】:
暂无信息
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