[发明专利]法布里-珀罗干涉滤光器在审
| 申请号： | 201780041828.3 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109477958A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；及中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)。中间层(23)的外侧面(23b)以如下方式弯曲：中间层(23)的基板(11)侧的缘部比中间层(23)的与基板(11)相反的一侧的缘部在与第一表面(11a)平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体(24)覆盖中间层(23)的外侧面(23b)。 | ||
| 搜索关键词： | 积层体 中间层 反射镜部 基板 第一表面 外侧面 缘部 法布里-珀罗干涉 干涉滤光器 法布里 滤光器 平行 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种法布里‑珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙，并且，所述中间层的外侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，所述第二层覆盖所述中间层的所述外侧面。
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