[发明专利]对准载体的方法、用于对准载体的设备和真空系统在审
| 申请号： | 201780045236.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN110024100A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 萨伊亚穆图西·哥文达萨米;沃尔夫冈·克莱因;斯里尼瓦斯·萨鲁古;安德烈亚斯·索尔;塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述对准载体、特别是掩模载体的方法。根据实施方式，所述方法包括：在运输方向(T)上运输载体(110)；将对准组件(150)的第一对准元件(152)插入所述载体的第二对准元件中，或将所述载体的第二对准元件插入对准组件(150)的第一对准元件(152)中；和通过在将所述第一对准元件插入所述第二对准元件中或将所述第二对准元件插入所述第一对准元件中时降低所述载体来在所述运输方向(T)上相对于所述对准组件(150)水平地对准所述载体。根据另外的实施方式，提供一种用于对准载体的设备。所述设备可经构造以从掩模载体更换掩模装置。进一步地，提供一种掩模载体。 | ||
| 搜索关键词： | 对准元件 对准 对准组件 掩模 掩模装置 运输载体 真空系统 运输 | ||
【主权项】：
1.一种对准载体的方法，包括：在运输方向(T)上运输载体(110)；将对准组件(150)的第一对准元件(152)插入所述载体(110)的第二对准元件(112)中，或将所述载体(110)的所述第二对准元件(112)插入所述对准组件(150)的所述第一对准元件(152)中；和通过降低或升高所述载体(110)来在所述运输方向(T)上水平地对准所述载体(110)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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