[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201780054794.1 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109689926B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 文一权;黄道元 | 申请（专利权）人： | 艾尔法普拉斯株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的技术目的为提供一种能够保护基板的表面免受粘在蒸镀用喷嘴上的污染物污染的蒸镀装置。为此，用于在基板上蒸镀一种以上的薄膜形成用物质的本发明的蒸镀装置包括：第一线性蒸发源，具有使得用于将第一薄膜形成用物质喷射到上述基板上的多个蒸镀用喷嘴沿着第一方向长长地排列的第一传导管；固定型遮挡部件，包括通道区域部及遮挡区域部，上述通道区域部设置于上述第一传导管与上述基板之间，用于使得所喷射的上述第一薄膜形成用物质的一部分朝向上述基板通过，上述遮挡区域部用于阻挡第一薄膜形成用物质的剩余部分；以及第一防污染部件，设置于上述固定型遮挡部件，用于防止粘在多个上述蒸镀用喷嘴中的至少一个蒸镀用喷嘴上的污染物移动到上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，用于在基板上蒸镀一种以上的薄膜形成用物质，其特征在于，包括：第一线性蒸发源，具有使得用于将第一薄膜形成用物质喷射到上述基板上的多个蒸镀用喷嘴沿着第一方向长长地排列的第一传导管；固定型遮挡部件，包括通道区域部以及遮挡区域部，上述通道区域部设置于上述第一传导管与上述基板之间，用于使得所喷射的上述第一薄膜形成用物质的一部分朝向上述基板通过，上述遮挡区域部用于阻挡第一薄膜形成用物质的剩余部分；以及第一防污染部件，设置于上述固定型遮挡部件，用于防止粘在多个上述蒸镀用喷嘴中的至少一个蒸镀用喷嘴上的污染物移动到上述基板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾尔法普拉斯株式会社，未经艾尔法普拉斯株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780054794.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
