[发明专利]膜的制造方法在审
| 申请号： | 201780055274.2 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109789440A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 中村诚吾;八重樫裕之 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/42 | 分类号： | B05D1/42;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/40;H01L51/48 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张志楠;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜且膜厚等的均匀性较高的优质的膜的制造方法。所述膜的制造方法为将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使溶剂干燥而将膜形成在基板上的膜的制造方法。使用在基板上保持原料溶液的涂布刮板，涂布刮板具有与基板的表面相对置的对置面、及设在对置面的周围的与原料溶液接触的至少1个侧面。使原料溶液的溶剂沿着特定方向干燥而形成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 原料溶液 基板 涂布刮板 溶剂 制造 表面相对 溶剂干燥 对置面 均匀性 膜形成 对置 膜厚 薄膜 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种膜的制造方法，将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上，所述膜的制造方法的特征在于，使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板，所述涂布刮板具有：对置面，与所述基板的表面相对置；及至少1个侧面，设在所述对置面的周围，且与所述原料溶液接触，使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。
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