[发明专利]检测装置、检测方法、图案化装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201780055797.7 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109690419B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 坂本宪稔 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及对可移动的物体(3、4a)上的标记的位置进行检测的检测装置(25)。检测装置(25)具有：控制部(24)，其具有作为确定机构的功能，在从物体(3、4a)到达目标位置起直至稳定为止的期间，确定物体(3、4a)的速度变成规定值以下的时机；拍摄机构(13、16)，其在由控制部(24)确定的时机对标记进行拍摄；以及检测机构(22、23)，其基于由拍摄机构(13、16)得到的拍摄结果和上述时机的物体(3、4a)的位置信息来检测标记的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 图案 化装 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，用于对可移动的物体上的标记的位置进行检测，其特征在于，该检测装置具有：确定机构，该确定机构在从上述物体到达目标位置起直至稳定为止的期间，确定上述物体的速度成为规定值以下的时机；拍摄机构，该拍摄机构在由上述确定机构确定出的时机对上述标记进行拍摄；以及检测机构，该检测机构基于由上述拍摄机构得到的拍摄结果和上述时机的上述物体的位置信息来检测上述标记的位置。
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