[发明专利]在极紫外光源中的靶轨迹量测在审

专利信息
申请号: 201780056432.6 申请日: 2017-09-12
公开(公告)号: CN109792831A 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: M·L·普赖斯;M·J·米特里;C·A·史汀生 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: H05G2/00 分类号: H05G2/00;G03F7/20
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;董典红
地址: 荷兰维*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 描述了一种用于测量靶的移动性质的方法。方法包括:形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体,剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体;沿着轨迹朝向靶空间释放当前靶,该靶空间与扩展的靶区域至少部分地重叠;当当前靶在扩展的靶区域内时,并且在先前且相邻的靶已经与靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后,确定当前靶的一个或多个移动性质;以及如果当前靶的任何所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外,则调节被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
搜索关键词: 等离子体 辐射脉冲 靶区域 移动 极紫外光源 空间释放 测量靶 可接受 重合 量测
【主权项】:
1.一种测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着所述靶的轨迹行进时所述靶的移动性质的方法,所述方法包括:形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体,所述剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体;沿着朝向所述靶空间的轨迹释放当前靶,所述轨迹与所述扩展的靶区域至少部分地重叠,所述当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分;当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时,并且在先前且相邻的靶已经与所述靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后,确定所述当前靶的一个或多个移动性质;以及如果所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质中的任何移动性质在可接受范围之外,则调节被引导朝向所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
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