[发明专利]含不饱和基团的碱溶性树脂和碱溶型放射线敏感性树脂组合物在审
申请号: | 201780056482.4 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN109715698A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 藤田贵史;六人部壮 | 申请(专利权)人: | 长濑化成株式会社 |
主分类号: | C08G63/553 | 分类号: | C08G63/553;G02B5/20;G03F7/027 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 崔立宇;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种酸值低、碱溶性、显影密合性、分辨率和电学特性优异的含不饱和基团的碱溶性树脂。提供一种含不饱和基团的碱溶性树脂,其特征在于,其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。 | ||
搜索关键词: | 不饱和基团 碱溶性树脂 丙烯酸酯 芴骨架 环氧 放射线敏感性树脂组合物 电学特性 反应物 碱溶性 密合性 四羧酸 酸二酐 分辨率 碱溶 显影 | ||
【主权项】:
1.一种含不饱和基团的碱溶性树脂,其特征在于,其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。
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