[发明专利]处理超纯水的方法和系统有效
申请号: | 201780056852.4 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN109715272B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 鲍里斯·艾里奥索夫;格伦·P·森德斯特伦;布鲁斯·L·库尔特 | 申请(专利权)人: | 懿华水处理技术有限责任公司 |
主分类号: | B01D61/14 | 分类号: | B01D61/14;B01D61/18;B01D61/22;C02F103/04 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 李慧慧;郑霞 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据各个方面和实施方案,公开了一种用于精处理超纯水(UPW)的系统和方法。水精处理系统包括超纯水(UPW)源、具有入口和渗透物出口的超滤(UF)模块、连通渗透物出口与入口并形成再循环回路的再循环管道、沿着再循环管道设置在UF模块的入口的上游并流体联接到UPW源的再循环泵、流体联接到再循环管道和需求源的供应管道,以及压力控制阀,供应管道位于渗透物出口的下游,该压力控制阀沿着再循环管道设置在供应管道的下游并且被配置为将渗透物的压力保持在预定值。 | ||
搜索关键词: | 处理 超纯水 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种水精处理系统,包括:超纯水(UPW)源;超滤(UF)模块,其具有入口和渗透物出口;再循环管道,其使所述渗透物出口与所述入口连通并形成再循环回路;再循环泵,其沿着所述再循环管道设置在所述UF模块的所述入口的上游,并流体地联接到所述UPW源;供应管道,其流体地联接到所述再循环管道和需求源,所述供应管道位于所述渗透物出口的下游;和压力控制阀,其沿着所述再循环管道设置在所述供应管道的下游,并且被配置为将渗透物的压力保持在预定值。
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