[发明专利]树脂组合物、半导体用配线层层叠体和半导体装置在审
申请号: | 201780059128.7 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN109791916A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 安部慎一郎;蔵渕和彦;峰岸知典;满仓一行;鸟羽正也 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;C08G73/10;C08L101/00;H05K3/46 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的一个方面涉及一种树脂组合物,其含有固化性树脂和固化剂,其被用于形成与铜配线接触的配线层间绝缘层。 | ||
搜索关键词: | 树脂组合物 绝缘层 半导体装置 固化性树脂 固化剂 配线层 铜配线 叠体 配线 半导体 | ||
【主权项】:
1.一种树脂组合物,其含有固化性树脂和固化剂,其被用于形成与铜配线接触的配线层间绝缘层。
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