[发明专利]含酚羟基树脂及抗蚀剂材料有效
| 申请号： | 201780060031.8 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109790264B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;长江教夫 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/36 | 分类号： | C08G8/36;C07D251/34;C08G65/34;G03F7/032 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明目的在于，提供流动性优异、固化物的耐热性及耐干蚀刻性高的含酚羟基树脂、含有其的固化性组合物、及抗蚀剂材料，提供如下的含酚羟基树脂，其为下述结构式(1)(式中X表示碳原子数1～14的烃基。R |
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| 搜索关键词： | 羟基 树脂 抗蚀剂 材料 | ||
【主权项】：
1.一种含酚羟基树脂，其为下述结构式(1)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物，且多分散系数(Mw/Mn)为1.01～1.30的范围，![]()
式中X表示碳原子数1～14的烃基，R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，m为0、1或2，n为0或1～4的整数。
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