[发明专利]激光照射装置、半导体器件制造方法及激光照射装置操作方法

摘要

一种实施方式的激光退火装置(1)包括用于生成激光束(L)的激光振荡器(4)，用于将待由所述激光束(L)照射的工件(W)浮起并传送该工件的浮起型传送台(3)，以及用于测量所述激光束(L)的光束轮廓的光束轮廓测量仪(7)。所述浮起型传送台(3)包括与所述工件(W)相对的传送表面(3a)以及与位于该传送表面(3a)相反一侧的下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)位于所述浮起型传送台(3)下表面(3b)下方。所述浮起型传送台(3)包括处于其一部分之内的可卸除部分(12)。通过将所述可卸除部分(12)从所述浮起型传送台(3)卸除，形成开孔(S)，该开孔(3)自所述传送表面(3a)延伸至所述下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)用于经所述开孔(S)，对所述激光束(L)的光束轮廓进行测量。

主权项

1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：一激光振荡器，用于生成一激光束；一传送台，用于将待由所述激光束照射的一工件浮起并传送所述工件；以及一测量仪器，用于测量所述激光束的一光束轮廓，其中，所述传送台包括与所述工件相对设置的一传送表面以及位于所述传送表面相反一侧的一下表面，所述测量仪器位于所述传送台的所述下表面的下方；所述传送台包括位于所述传送台一部分之内的一可卸除部分，所述可卸除部分构造为可从所述传送台卸除，通过将所述可卸除部分从所述传送台卸除，在所述传送台内形成一开孔，所述开孔自所述传送表面延伸至所述下表面，以及所述测量仪器用于经所述开孔，对所述激光束的所述光束轮廓进行测量。