[发明专利]压电振动器件有效

专利信息
申请号: 201780062534.9 申请日: 2017-11-14
公开(公告)号: CN109804562B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 古城琢也 申请(专利权)人: 株式会社大真空
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H01L25/00;H03B5/32
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;孙明轩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种压电振动器件。作为压电振动器件的晶体振荡器(102)具有形成有第一激励电极(221)和第二激励电极(222)的晶体振动片(2)、将晶体振动片(2)的第一激励电极(221)覆盖的第一密封构件(3)、及将晶体振动片(2)的第二激励电极(222)覆盖的第二密封构件(4),第一密封构件(3)与晶体振动片(2)相接合;第二密封构件(4)与晶体振动片(2)相接合,形成将晶体振动片(2)的振动部(22)气密密封的内部空间(13)。内部空间(13)内配置有未与第一激励电极(221)及第二激励电极(222)电连接而与固定电位,例如GND电位连接的第一屏蔽电极(35)及第二屏蔽电极(44)。基于该结构,能抑制由电容耦合引起的特性变动。
搜索关键词: 压电 振动 器件
【主权项】:
1.一种压电振动器件,具有在基板的一个主面上形成有第一激励电极、在所述基板的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极的压电振动板;将所述压电振动板的所述第一激励电极覆盖的第一密封构件;及将所述压电振动板的所述第二激励电极覆盖的第二密封构件,所述第一密封构件与所述压电振动板相接合,所述第二密封构件与所述压电振动板相接合,形成将包含所述第一激励电极和所述第二激励电极的所述压电振动板的振动部气密密封的内部空间,该压电振动器件的特征在于:在所述内部空间,配置有未与所述第一激励电极及所述第二激励电极电连接而与固定电位连接的屏蔽电极。
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