[发明专利]弯曲的后扫描电极在审
| 申请号： | 201780064062.0 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109863572A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 法兰克·辛克莱;丹尼尔·泰格尔;艾德沃·W·比尔;罗伯特·林德柏格 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种设备用于提供离子束的离子束产生器。扫描系统可接收所述离子束并提供经扫描束。电极可接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极的垂直于所述传播方向所述扫描束的所述部分可具有弯曲形状。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 扫描 传播方向 离子束 垂直 离子束产生器 扫描电极 扫描系统 弯曲形状 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：离子束产生器，提供离子束；扫描系统，接收所述离子束，所述扫描系统包括第一扫描板与第二扫描板，位于所述离子束的相对两侧上，所述第一扫描板与所述第二扫描板从所述离子束产生经扫描束，所述经扫描束具有扫描原点及视在扫描原点；以及电极，接收所述经扫描束，所述电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。
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