[发明专利]光纤母材的制造方法有效
| 申请号： | 201780064884.9 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109843815B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 长洲胜文 | 申请（专利权）人： | 株式会社藤仓 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;C03B8/04;C03C25/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光纤母材的制造方法是用于制造具有由二氧化硅玻璃形成的纤芯和形成于上述纤芯的外周的包层的光纤的光纤母材的制造方法，具有如下工序：将成为上述纤芯的纤芯母材的表面在腔室内用等离子火焰进行蚀刻处理的蚀刻工序，在将上述纤芯母材放入上述腔室内的状态下，使玻璃微粒沉积于上述纤芯母材的蚀刻处理面而形成成为上述包层的外部气相沉积层，由此得到多孔母材的沉积工序，以及将上述多孔母材加热进行烧结的烧结工序，并且，上述沉积工序中，通过多次重复进行基于原料气体的供给的上述玻璃微粒的沉积而形成上述外部气相沉积层，上述多次的玻璃微粒的沉积中的至少最初一次的上述原料气体的流量相对于稳定值为50％以下，开始上述沉积工序时的上述纤芯母材的蚀刻处理面的温度为50℃以上。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光纤母材的制造方法，是用于制造具有由二氧化硅玻璃形成的纤芯和形成于所述纤芯的外周的包层的光纤的光纤母材的制造方法，具有如下工序：蚀刻工序，将成为所述纤芯的纤芯母材的表面，在腔室内用等离子火焰进行蚀刻处理，沉积工序，在将所述纤芯母材放入所述腔室内的状态下，在所述纤芯母材的蚀刻处理面使玻璃微粒沉积而形成成为所述包层的外部气相沉积层，得到多孔母材，以及烧结工序，将所述多孔母材加热进行烧结，并且，所述沉积工序中，通过多次重复进行基于供给原料气体的所述玻璃微粒的沉积而形成所述外部气相沉积层，所述多次的玻璃微粒的沉积中的至少最初一次的所述原料气体的流量相对于稳定值为50％以下，并且，开始所述沉积工序时的所述纤芯母材的蚀刻处理面的温度为50℃以上。
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