[发明专利]具有亚波长厚度的压电层的弹性波器件在审
| 申请号： | 201780064907.6 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109891612A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 后藤令;邹杰;中村弘幸;C·S·林 | 申请（专利权）人： | 天工方案公司 |
| 主分类号： | H01L41/107 | 分类号： | H01L41/107;H01L41/187;H01L41/083;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请的各方面涉及一种弹性波器件。所述弹性波器件包括亚波长厚度的压电层、位于所述压电层上的叉指型换能器电极、和具有比弹性波的速度更高的体速度的高速层。所述高速层可抑制弹性波在反谐振时从所述压电层泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 压电层 弹性波器件 弹性波 高速层 亚波长 换能器电极 叉指型 反谐振 泄露 申请 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波器件，包括：压电层，其具有在从‑10°到60°的切割角度范围内的切割角度；位于所述压电层上的叉指型换能器电极，所述叉指型换能器电极被配置为生成具有波长λ的弹性波，所述叉指型换能器电极具有在从0.02λ到0.1λ的第一厚度范围内的厚度，并且所述压电层具有小于λ的厚度；以及高速层，其具有比所述弹性波的速度更高的体速度，并且被配置为抑制所述弹性波在反谐振时从所述压电层泄露。
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