[发明专利]流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法

摘要

本发明提供一种在不使流体的供给流量减少的前提下进一步小型化、集成化的流体控制装置。具有基块(10B、10C)和分别设置于基块(10B、10C)的上表面的流体用设备(120、130)，基块(10B、10C)分别具有沿着长度方向突出的突出管部(10p2、10p1)，突出管部(10p2、10p1)分别与对应的第2流路(13d)连通，基块(10B)的下游侧端面的突出管部(10p2)与基块(10C)的上游侧端面的突出管部(10p1)利用焊接材料(WL)气密或液密地连接。

主权项

1.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置具有：第1基块和第2基块，该第1基块和第2基块沿着规定方向配置在上游侧和下游侧，各自划分出上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸并且在所述规定方向上彼此相对的上游侧端面和下游侧端面；以及第1流体用设备和第2流体用设备，该第1流体用设备和该第2流体用设备具有划分出流体流路的主体部，且在该主体部的底面具有两个所述流体流路的流路口，所述第1流体用设备和所述第2流体用设备分别设置于所述第1基块的上表面及所述第2基块的上表面，所述第1基块和所述第2基块各自具有：上游侧流路和下游侧流路，该上游侧流路和该下游侧流路以分离开的方式形成于所述规定方向的上游侧和下游侧；以及上游侧螺纹孔和下游侧螺纹孔，该上游侧螺纹孔和该下游侧螺纹孔形成于所述规定方向的上游侧和下游侧，在所述上表面开口并且朝向所述底面侧延伸，所述上游侧流路和所述下游侧流路各自具有：第1流路，其自在所述上表面开口的流路口朝向所述底面延伸；以及第2流路，其与所述第1流路在所述基块内部连接，并且朝向所述规定方向上的上游侧端面或下游侧端面延伸，所述第1基块的上游侧螺纹孔和下游侧螺纹孔及所述第2基块的上游侧螺纹孔和下游侧螺纹孔配置为在俯视时至少一部分与对应的所述第2流路重叠，并且在对应的所述第2流路的上方被堵塞，在分别贯穿所述第1流体用设备的主体部及所述第2流体用设备的主体部并与所述第1基块的所述上游侧螺纹孔和所述下游侧螺纹及所述第2基块的所述上游侧螺纹孔和所述下游侧螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述第1基块及所述第2基块与所述第1流体用设备的主体部及所述第2流体用设备的主体部分别连结，并且在所述基块的上表面的流路口和与其分别对接的所述第1流体用设备的主体部及所述第2流体用设备的主体部的对应的流路口的周围配置的密封构件被压在所述第1基块及所述第2基块与所述第1流体用设备的主体部及所述第2流体用设备的主体部之间，所述第1基块和所述第2基块各自具有自所述上游侧端面和所述下游侧端面沿着所述规定方向突出的突出管部，所述突出管部分别与对应的所述第2流路连通，所述第1基块的下游侧端面的突出管部与所述第2基块的上游侧端面的突出管部气密或液密地连接。