[发明专利]压电振动器件的频率调整方法有效
| 申请号： | 201780066350.X | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109891744B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 山下弘晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能对应于超小型化、且能不降低频率调整精度地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法。本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振器的频率调整方法是通过减少音叉型石英晶体振动片(1)的振动臂(31、32)上形成的调整用金属膜(W)的质量，来进行频率调整，该方法包括，通过将调整用金属膜(W)的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整的粗调整工序、和通过将粗调整工序中从所述调整用金属膜(W)产生的生成物(W1、W2)的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整的微调整工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 器件 频率 调整 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电振动器件的频率调整方法，通过减少音叉型压电振动片的振动臂上形成的调整用金属膜的质量来进行频率调整，其特征在于：包括粗调整工序，通过将所述调整用金属膜的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整；及微调整工序，通过将所述粗调整工序中从被薄壁化或被去除的调整用金属膜产生的生成物的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整。
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