[发明专利]对准机构、卡盘装置及贴合装置

摘要

对准机构具备具有第一旋转轴(61c)的旋转部(61)、三个动力传递机构(62)以及三个对准作用部(63)。各动力传递机构(62)具备第一臂(621)以及第二臂(622)。第一臂(621)具有：第一端部(621a)，轴支承于三个不同的位置(P11～P13)中的对应的位置；以及第二端部(621b)，位于该第一端部(621a)的相反侧。第二臂(622)具有第二旋转轴(622c)，并且在与该第二旋转轴(622c)不同的位置轴支承于第一臂(621)的第二端部(621b)。各对准作用部(63)连接到对应的第二臂，并且第二旋转轴(622c)配置于在以第一旋转轴(61c)为中心的不同的三个方向上离开旋转部(61)的三个位置(P21～P23)。

主权项

1.一种对准机构，具备：旋转部，具有第一旋转轴；三个动力传递机构，分别轴支承于所述旋转部中偏离所述第一旋转轴的三个不同的位置；以及三个对准作用部，通过所述三个动力传递机构分别被传递所述旋转部的旋转从而进行动作，所述三个动力传递机构各自具备：第一臂，具有轴支承于所述三个不同的位置中的对应的位置的第一端部、以及位于该第一端部的相反侧的第二端部；以及第二臂，具有第二旋转轴，并且在与该第二旋转轴不同的位置轴支承于所述第一臂的第二端部，所述三个对准作用部与所述三个动力传递机构所具备的所述第二臂分别连接，并且该三个第二臂各自所具有的所述第二旋转轴配置于在以所述第一旋转轴为中心的不同的三个方向上离开所述旋转部的三个位置。