[发明专利]用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统有效
| 申请号： | 201780067437.9 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109891454B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 李炳敏;洪兑荣;孙明昇 | 申请（专利权）人： | SK株式会社 |
| 主分类号： | G06F17/18 | 分类号： | G06F17/18;G06Q50/04;G06Q10/06;G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王凯霞;张川绪 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统。根据本发明的实施例的数据变化感测方法基于参考数据和比较数据的统计分布提取部分，基于规范计算目标范围，并从提取的参考数据和比较数据之中辨别包括在目标范围中的数据以确定数据变化。因此，工艺或设备的测量数据的微小变化可在制造工艺中被感测，从而能够预先估计产品的潜在的质量可变性并采取用于防止质量劣化的快速预先措施。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 设备 测量 数据 细小 变化 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于感测数据的变化的方法，所述方法包括：基于参考数据和比较数据的统计分布来提取数据的部分的步骤；基于规范计算目标范围的步骤；从提取的参考数据和比较数据之中识别包括在目标范围中的数据并确定数据的变化的第一确定步骤。
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