[发明专利]玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201780067500.9 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109890772B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 山本好晴;中塚弘树;大野和宏;伊泽诚一 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;G02F1/13;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在将玻璃基板以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的同时，使用从供气口向所述处理空间供给且通过排气口从所述处理空间排出的处理气体，来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，其中，所述供气口设置于所述下部构成体，所述排气口分别设置于所述下部构成体中的所述输送方向的上游侧端部及下游侧端部，所述玻璃基板的制造方法的特征在于，在所述上游侧端部的排气口与所述下游侧端部的排气口之间，沿着所述输送方向配置多个所述供气口，从各供气口供给所述处理气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本电气硝子株式会社，未经日本电气硝子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780067500.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
