[发明专利]接合体

摘要

本发明提供一种接合体，其中，压电性单晶基板6的材质为LiAO3(A为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素)，接合层3A的材质为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素的氧化物，沿着压电性单晶基板6与接合层3A的边界，设置有组成为ExO(1‑x)(E为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素，0.29≤x≤0.89。)的界面层12。

主权项

1.一种接合体，具备：支撑基板、压电性单晶基板、以及设置在所述支撑基板与所述压电性单晶基板之间的接合层，其特征在于，所述压电性单晶基板的材质为LiAO₃，其中，A为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素，所述接合层的材质为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素的氧化物，沿着所述压电性单晶基板与所述接合层的边界，设置有组成为E_xO_(1‑x)的界面层，其中，E为选自由铌及钽构成的组中的一种以上的元素，0.29≤x≤0.89。