[发明专利]载置台和电子器件测试装置有效
| 申请号： | 201780072416.6 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109983350B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 河西繁;藤泽良德 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制成本升高的电子器件测试装置。探针台(10)包括用于载置载体(C)或晶片(W)的载置台(11)，该载置台(11)包括用于载置载体(C)的载置台盖(27)、与该载置台盖(27)抵接的冷却单元(29)、和隔着载置台(27)和冷却单元(29)与载体(C)相对配置的LED照射单元(30)，载置台盖(27)和冷却单元(29)由透光材料构成，可透光的冷却介质在冷却单元(29)的冷却介质流路(28)中流动，LED照射单元(30)包括面向载体(C)发光的多个LED(32)，载体(C)由大致圆板形的玻璃基片(24)构成，多个电子器件(25)彼此隔着规定的间隔配置在载体(C)的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 电子器件 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种载置台，其特征在于，包括：用于载置被检查体的冷却机构；和以隔着该冷却机构与所述被检查体相对的方式配置的光照射机构，所述冷却机构由透光材料构成，内部供可透光的冷却介质流动，所述光照射机构包括朝向所述被检查体发光的多个LED。
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