[发明专利]超纯水制造方法及超纯水制造系统在审
| 申请号： | 201780072434.4 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110291045A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 天谷徹 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/44 | 分类号： | C02F1/44;B01D61/04;B01D61/08;B01D61/46;B01D61/58;C02F1/28;C02F1/469;C02F9/02;C02F9/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供能够抑制超纯水制造系统的2段反渗透膜装置中的反渗透膜的因氧化剂而引起的劣化、并且抑制生物污损的产生的超纯水制造方法及超纯水制造系统。上述制造方法是使用了具备2段反渗透膜装置的超纯水制造系统的超纯水制造方法，其中，作为上述2段反渗透膜装置的前段的反渗透膜装置使用耐氯性反渗透膜装置进行处理，作为上述2段反渗透膜装置的后段的反渗透膜装置使用非耐氯性反渗透膜装置进行处理，将上述耐氯性反渗透膜装置的被处理水中的游离氯浓度(Cl换算)和游离溴浓度(Br换算)合计设定为0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。 | ||
| 搜索关键词： | 反渗透膜装置 超纯水制造系统 超纯水 耐氯性 制造 换算 氧化剂 被处理水 反渗透膜 生物污损 游离氯 游离溴 后段 劣化 | ||
【主权项】：
1.一种超纯水制造方法，其特征在于，其是使用了具备2段反渗透膜装置的超纯水制造系统的超纯水制造方法，其中，作为所述2段反渗透膜装置的前段的反渗透膜装置使用耐氯性反渗透膜装置进行处理，作为所述2段反渗透膜装置的后段的反渗透膜装置使用非耐氯性反渗透膜装置进行处理，在所述耐氯性反渗透膜装置中将被处理水中的以Cl换算的游离氯浓度和以Br换算的游离溴浓度合计调节至0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。
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