[发明专利]非蒸散型吸气剂涂敷部件、容器、制法、装置有效
| 申请号： | 201780073255.2 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110023623B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 间濑一彦;菊地贵司 | 申请（专利权）人： | 大学共同利用机关法人高能量加速器研究机构 |
| 主分类号： | F04B37/04 | 分类号： | F04B37/04;F04B37/02 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非蒸散型吸气剂涂敷部件和容器，其特征在于，包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的贵金属层。还提供一种非蒸散型吸气剂涂敷部件及容器的制造方法，其特征在于，包含通过在低压下利用蒸镀法将非蒸散型吸气剂材料和/或贵金属涂敷而形成非蒸散型吸气剂材料层和/或贵金属层的工序。还提供一种NEG涂敷部件和容器的制造装置，其特征在于，具有NEG材料丝和/或贵金属丝、以及电流端子。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸散 吸气 剂涂敷 部件 容器 制法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种非蒸散型吸气剂涂敷部件，其特征在于，包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的贵金属层。
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