[发明专利]成膜装置、使用该成膜装置的成膜物的制造方法以及冷却板有效
| 申请号： | 201780075888.7 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN110114505B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 藤井博文;铃木毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;谭祐祥 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有简单且小型的结构的成膜装置(1)。成膜装置(1)包括：具有与基材(W)相向的相向面的至少一个靶材(4)；分别将所述靶材(4)装拆自如地保持的多个靶材保持部(5)；冷却所述多个靶材保持部(5)的冷却部(6)；以及至少一个冷却板(7)。所述至少一个冷却板(7)具有：装拆自如地保持在靶材保持部(5)的被保持部(7d)；以及具有受热面(7e)的受热部(7b)，其中，该受热面(7e)在该被保持部(7d)被保持在所述靶材保持部(5)的状态下与基材(W)相向且接收从该基材(W)释放出的辐射热。所述被保持部(7d)进行从所述受热面(7e)向所述靶材保持部(5)的传热。各靶材保持部(5)择一地保持所述靶材(4)或所述冷却板(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 使用 成膜物 制造 方法 以及 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其特征在于包括：成膜腔室；基材支撑部，在所述成膜腔室的内部支撑基材；至少一个靶材，具有与所述基材支撑部支撑的所述基材相向的相向面；多个靶材保持部，分别将所述靶材以使该靶材的相向面与所述基材相向的方式装拆自如地保持；冷却部，冷却所述多个靶材保持部；以及至少一个冷却板，其中，所述至少一个冷却板具有：被保持部，呈能够装拆自如地保持在所述靶材保持部的形状；以及受热部，具有受热面，该受热面在所述被保持部被所述靶材保持部保持的状态下与所述基材相向且接收从该基材释放出的辐射热，所述被保持部进行从所述受热面向所述靶材保持部的传热，所述多个靶材保持部的每一个择一地保持所述靶材或所述冷却板的所述被保持部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社神户制钢所，未经株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780075888.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于对眼镜镜片进行覆层的系统、方法和支架
- 下一篇：树脂膜处理装置
- 同类专利
- 专利分类
