[发明专利]清洗单元

摘要

一种用于将清洗药液供给至清洗装置的清洗药液供给装置，具备：药液入口部及稀释水入口部；流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部的第一药液控制部；及流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部的第二药液控制部，所述第一药液控制部具有第一药液流量控制部、第一稀释水流量控制部及第一混合部，所述第二药液控制部具有第二药液流量控制部、第二稀释水流量控制部及第二混合部。

主权项

1.一种清洗药液供给装置，用于将清洗用的药液供给至清洗装置，该清洗药液供给装置的其特征在于，具备：药液入口部及稀释水入口部；第一药液控制部，该第一药液控制部流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部；及第二药液控制部，该第二药液控制部流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部；所述第一药液控制部具有：第一药液流量控制部，该第一药液流量控制部以从所述药液入口部接受药液的供给，并控制所述药液的流量的方式构成；第一稀释水流量控制部，该第一稀释水流量控制部以从所述稀释水入口部接受稀释水的供给，并控制所述稀释水的流量的方式构成；及第一混合部，该第一混合部将来自所述第一药液流量控制部及所述第一稀释水流量控制部的所述药液及所述稀释水进行混合；所述第二药液控制部具有：第二药液流量控制部，该第二药液流量控制部以从所述药液入口部接受所述药液的供给，并控制所述药液的流量的方式构成；第二稀释水流量控制部，该第二稀释水流量控制部以从所述稀释水入口部接受所述稀释水的供给，并控制所述稀释水的流量的方式构成；及第二混合部，该第二混合部将来自所述第二药液流量控制部及所述第二稀释水流量控制部的所述药液及所述稀释水进行混合。