[发明专利]保护涂层在审

专利信息
申请号: 201780077033.8 申请日: 2017-12-12
公开(公告)号: CN110268810A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 沙林达·维克拉姆·辛格;吉安弗兰可·阿拉斯塔;安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯;希奥布翰·玛丽·伍拉德;加雷思·亨尼根 申请(专利权)人: 赛姆布兰特有限公司
主分类号: H05K3/28 分类号: H05K3/28;C23C14/00;H01L21/02;C08J7/04;C23C16/40;C23C16/02;C09D127/20;B05D1/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 彭雪瑞;臧建明
地址: 英国*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 一种在基材上沉积保护涂层的方法,其中所述保护涂层包含(i)与所述基材接触的防潮层,其包括第一子层、可选的一个或多个中间子层,和最终子层,(ii)无机的机械保护层,和(iii)介于所述防潮层和所述机械保护层之间的梯度层。
搜索关键词: 子层 机械保护层 防潮层 沉积保护涂层 基材接触 可选的 梯度层 基材
【主权项】:
1.一种在基材上沉积保护涂层的方法,其中:所述保护涂层包括(i)与所述基材接触的防潮层,其包括第一子层,可选地一个或多个中间子层,和最终子层,(ii)无机的机械保护层,和(iii)介于所述防潮层和所述机械保护层之间的梯度层;并且所述方法包括:(a)通过前体混合物(A)的等离子体沉积在所述基材上沉积所述防潮层的所述第一子层,所述前体混合物(A)包括有机硅化合物、氟代烃或式(X)化合物;其中:Z1表示C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基;Z2代表氢、C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基;Z3表示氢、C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基;Z4表示氢、C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基;Z5表示氢、C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基;和Z6代表氢、C1‑C3烷基或C2‑C3链烯基,(b)如果存在,通过前体混合物(B)的等离子体沉积来沉积所述防潮层的所述一个或多个中间子层的每一个,所述前体混合物(B)包括有机硅化合物、氟代烃或式(X)化合物;(c)通过前体混合物(C)的等离子体沉积来沉积所述防潮层的所述最终子层,所述前体混合物(C)包括有机硅化合物、氟代烃或式(X)化合物;(d)通过前体混合物(D)的等离子体沉积在所述防潮层的所述最终子层上沉积所述梯度层,所述前体混合物(D)包括前体混合物(C)和(E)的所述组分;(e)通过前体混合物(E)的等离子体沉积在所述梯度层上沉积所述机械保护层,所述前体混合物(E)包括有机硅化合物。
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