[发明专利]具有改进的频率性能的测试头

摘要

一种测试头(20)，适合于校验集成在半导体晶片上的待测试器件的操作，包括至少一个引导件(40，41，42)，所述至少一个引导件(40，41，42)设有适合于容纳多个接触元件(21’，21”，21”’)的多个引导孔(40h，41h，42h)，每个接触元件(21’，21”，21”’)都包括在第一端部部分(24)和第二端部部分(25)之间延伸的主体(21pr，21pp)。有利地，至少一个引导件(40，41，42)包括至少一个导电部分(30’，30”，30”’)，至少一个导电部分(30’，30”，30”’)包括多个引导孔(40h，41h，42h)的至少一组孔(40’，40”，40”’；41’，41”，41”’；42’，42”，42”’)并且将这些孔彼此电连接，并且易于与接触元件(21’，21”，21”’)的对应组接触，所述对应组的接触元件(21’，21”，21”’)适合于携带相同类型的信号。

主权项

1.一种测试头(20)，适合于校验集成在半导体晶片上的待测试器件的操作，所述测试头(20)包括设有多个引导孔(40h，41h，42h)的至少一个引导件(40，41，42)、所述多个引导孔(40h，41h，42h)适合于容纳多个接触元件(21’，21”，21”’)，所述多个接触元件(21’，21”，21”’)中的每个都包括在第一端部部分(24)和第二端部部分(25)之间延伸的主体(21pr，21pp)，所述测试头(20)的特征在于：所述至少一个引导件(40，41，42)包括至少一个导电部分(30’，30”，30”’)，所述至少一个导电部分(30’，30”，30”’)包括所述多个引导孔(40h，41h，42h)的至少一组孔(40’，40”，40”’；41’，41”，41”’；42’，42”，42”’)并且将这些孔彼此电连接，并且易于与所述多个接触元件(21’，21”，21”’)的对应组接触，所述对应组的所述多个接触元件(21’，21”，21”’)适合于传送相同类型的信号。