[发明专利]摄像面板及其制造方法

摘要

提供能提高生产性的X射线摄像面板及其制造方法。摄像面板(1)基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像。摄像面板(1)在基板(101)上具有有源区域和端子区域。在有源区域中具备：薄膜晶体管；第1绝缘膜，其设置于薄膜晶体管之上；光电转换元件，其设置于第1绝缘膜之上；第2绝缘膜，其分开配置于光电转换元件的上层，具有接触孔；以及导电膜，其经由接触孔与上述光电转换元件连接。光电转换元件包含光电转换层，该光电转换层包含第1半导体层、本征非晶质半导体层以及第2半导体层。端子区域具备：第1导电层(100)，其包括与薄膜晶体管的栅极电极或源极电极相同的材料；端子用第1绝缘膜(103)，其包括与第1绝缘膜相同的材料，在第1导电层(110)的一部分之上分开设置，具有开口；端子用半导体层(1501)，其设置于端子用第1绝缘膜(103)之上，包括与光电转换层的至少一部分半导体层相同的材料；以及第2导电层(1702)，其设置于端子用半导体层(1501)之上，包括与上述导电膜相同的材料，在端子用第1绝缘膜(103)的开口中与第1导电层(100)连接。

主权项

1.一种摄像面板，基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像，上述摄像面板的特征在于，具有基板，并且在上述基板上具有有源区域和端子区域，上述有源区域具备：薄膜晶体管，其形成于上述基板上；第1绝缘膜，其设置于上述薄膜晶体管之上；光电转换元件，其设置于上述第1绝缘膜之上，包含具有第1导电型的第1半导体层、本征非晶质半导体层、以及具有与上述第1导电型相反的第2导电型的第2半导体层作为将上述闪烁光转换为电荷的光电转换层；第2绝缘膜，其分开配置于上述光电转换元件的上层，具有接触孔；以及导电膜，其经由上述接触孔与上述光电转换元件连接，上述端子区域具备：第1导电层，其设置于上述基板上，包括与上述薄膜晶体管的栅极电极或源极电极相同的材料；端子用第1绝缘膜，其包括与上述第1绝缘膜相同的材料，在上述第1导电层的一部分之上分离开设置，具有开口；端子用半导体层，其设置于上述端子用第1绝缘膜之上，包括与上述光电转换层的至少一部分半导体层相同的材料；以及第2导电层，其包括与上述导电膜相同的材料，以在上述开口中与上述第1导电层接触的方式设置于上述端子用半导体层之上。