[发明专利]用于处理基板的方法和设备和对应的显示元件有效

专利信息
申请号: 201780083154.3 申请日: 2017-01-11
公开(公告)号: CN110178238B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 伯纳德·G·穆勒 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H10K71/60 分类号: H10K71/60;H10K71/70;H10K77/10;H10K50/844;H10K71/00;B32B43/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 根据本公开的一个方面,描述一种用于处理基板(10)的方法和设备,所述基板例如显示元件。所述基板具有电绝缘背侧(12)和与所述电绝缘背侧相对的前侧(14)。所述方法包括:用导电层(20)涂布所述电绝缘背侧(12),以提供导电背侧(22);将所述导电背侧与接地(25)或与参考电位连接;以及处理所述基板,特别是处理所述前侧和/或形成于所述前侧上的一个或多个电子装置(32)。另外,说明一种用于处理基板的设备。根据另外的方面,描述一种显示元件,所述显示元件包括基板(10),所述基板(10)具有电绝缘背侧,所述电绝缘背侧涂布有导电层(20)。
搜索关键词: 用于 处理 方法 设备 对应 显示 元件
【主权项】:
1.一种处理基板(10)的方法,其中所述基板具有电绝缘背侧(12)和与所述电绝缘背侧(12)相对的前侧(14),所述方法包括:用导电层(20)涂布所述电绝缘背侧(12),以提供导电背侧(22);将所述导电背侧(20)与接地(25)连接或与参考电位连接;以及处理(30)所述基板。
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