[发明专利]用于判断缺陷质量的方法和设备在审
| 申请号： | 201780083330.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110178019A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | B.费尔德曼;菅谷胜哉;田畑让;山本茂 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/02;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李芳华 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 用于判断缺陷质量的方法包括：通过光学图像装置(22)在包括多层透明薄膜(1,2,3,4,5,6)的检查对象(10)的高度方向上、以预定步长获取多个图像；根据所述多个图像的每个像素与相邻像素的亮度差，来计算部分图像的锐度；根据所述多个图像的所有图像中相同像素位置处的锐度的计算结果最大的图像编号，计算所述部分图像的高度信息；从计算所述高度信息中获得所述所有图像的三维信息；和基于所述三维信息，判断所述检查对象的缺陷质量。 | ||
| 搜索关键词： | 图像 高度信息 检查对象 三维信息 锐度 光学图像装置 方法和设备 透明薄膜 相邻像素 像素位置 亮度差 多层 像素 | ||
【主权项】：
1.一种用于判断缺陷质量的方法，包括步骤：通过光学图像装置在包括多层透明薄膜的检查对象的高度方向上、以预定步长获取多个图像；根据所述多个图像的每个像素与相邻像素的亮度差，来计算部分图像的锐度；根据所述多个图像的所有图像中相同像素位置处的所述锐度的计算结果最大的图像编号，计算所述部分图像的高度信息；从计算所述高度信息中获得所述所有图像的三维信息；和基于所述三维信息，判断所述检查对象的缺陷质量。
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