[发明专利]大气压等离子体装置有效
| 申请号： | 201780089227.X | 申请日： | 2017-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110495255B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 神藤高广;池户俊之;丹羽阳大 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明谋求一种通过压力传感器来检测气体配管内的压力并通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态的有用的大气压等离子体装置。提供一种大气压等离子体装置，该大气压等离子体装置具备：等离子体照射头；气体配管，向等离子体照射头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧X，检测气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。由此，能够判断大气压等离子体装置的气体泄漏。另外，能够判断是否以良好的状态产生了等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 大气压 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种大气压等离子体装置，其特征在于，具备：/n等离子体头；/n气体配管，向所述等离子体头供给气体；/n流量控制计，控制向所述气体配管供给的气体的流量；/n压力传感器，配设于所述流量控制计的下游侧，检测所述气体配管内的压力；及/n判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的所述气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。/n
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