[发明专利]蚀刻装置以及显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201780094363.8 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111096071A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 谷山博己;冈部达;斋田信介;市川伸治;郡司辽佑;仲田芳浩;井上彬;神村浩治 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻装置(1)，具有：药液处理槽(20)，其在内部输送基板(2)；和喷射部(21)，其配置在药液处理槽(20)的内部，具有朝向与基板(2)的表面不相交的方向的吹出口(22)，并且通过吹出口(22)喷射雾状的蚀刻剂药液(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 以及 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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