[发明专利]使用多层堆叠制造器件在审
| 申请号： | 201780094508.4 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111095584A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | A.E.梅格兰特 | 申请（专利权）人： | 谷歌有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金玉洁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种制造器件的方法。该方法包括在具有主表面的衬底(10'、100')上形成多层堆叠(101'、102'、103')。该多层堆叠包括形成在衬底的主表面之上的支撑层(102')和形成在支撑层上的光致抗蚀剂层(103')；图案化该多层堆叠以形成至少一个开口使得光致抗蚀剂层被支撑层底切；以及各向异性地干蚀刻衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 多层 堆叠 制造 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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