[发明专利]蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法在审
| 申请号： | 201780095133.3 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111108229A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 山渕浩二;中岛信作 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 形成于掩模片(15)的有效部(YA)以横跨被蒸镀基板的多个有源区域(3)的方式进行设置，有效部(YA)具有第一区域(YA1)以及第二区域(YA2)，第一区域(YA1)按照每个有源区域(3)而设置为与有源区域(3)对应的形状，在第二区域(YA2)且第一区域(YA1)外设置有对多个蒸镀孔(H)进行遮蔽的遮蔽部(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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