[发明专利]准分子激光装置和电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201780095631.8 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111194510B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 石田启介;小室哲;古里博志 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/134 | 分类号： | H01S3/134;G03F7/20;H01S3/137 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的准分子激光装置具有：腔，其在内部包含激光气体和一对电极，激光气体的气压根据对一对电极之间施加的电压被进行控制，由此生成进行脉冲振荡的激光；电源，其对一对电极之间施加电压；以及控制器，其输入激光的谱线宽度的目标值，在目标值从第1目标值变化为第2目标值的情况下，根据将第2目标值作为参数的第1函数对气压的控制中使用的电压进行校正，根据校正后的电压对气压进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 装置 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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