[发明专利]等离子体照射装置在审
| 申请号： | 201780097654.2 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111466156A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 神藤高广;池户俊之;泷川慎二;丹羽阳大 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
等离子体照射装置构成为具备：等离子体头(14)，产生等离子化气体并从喷嘴喷出该等离子化气体；气体供给装置(50)，用于对气体进行流量调节并向等离子体头供给气体；气体管(60)，将该气体供给装置与等离子体头之间连接而成为气体的流路；及压力检测器(62)，检测从气体供给装置供给的气体的压力。检测向等离子体头供给的气体的压力(P |
||
| 搜索关键词： | 等离子体 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社富士，未经株式会社富士许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780097654.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：瓦楞纸箱的分割装置及瓦楞纸箱的制造装置
- 下一篇：挖土机
