[其他]发光装置、测试晶圆的测试装置有效
| 申请号： | 201790000047.5 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN209148831U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张满;王华杲 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型部分实施例提供了一种发光装置、测试晶圆的测试装置。发光装置包括：具有一个端面的容置盒、光处理结构及朝向光处理结构发射用于测试的测试光线的光源；光处理结构至少包括用于使光源发出的测试光线均匀化的第一均光片，第一均光片安装在容置盒内；光源安装在端面上；其中，测试光线经过光处理结构后照射到待测的晶圆。采用实用新型的实施方式，可以使发光装置产生均匀度较高的光源，发光装置结构简单、成本低、体型较小易于安装在晶圆测试机上；同时便于高效的进行多位并行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 发光装置 光处理 测试光线 光源 测试晶圆 测试装置 均光片 容置盒 多位并行测试 发光装置结构 本实用新型 光源安装 晶圆测试 均匀度 均匀化 体型 晶圆 照射 测试 发射 | ||
【主权项】：
1.一种发光装置，包括：具有一个端面的容置盒、光处理结构及朝向所述光处理结构发射用于测试的测试光线的光源；所述光处理结构至少包括用于使所述光源发出的测试光线均匀化的第一均光片，所述第一均光片安装在所述容置盒内；所述光源安装在所述端面上；其中，所述测试光线经过所述光处理结构后照射到待测的晶圆。
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