[其他]测量装置和压印设备有效
| 申请号： | 201790001706.7 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN212060021U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 麦克斯·迪兹;尼尔·莫里森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;G01N27/07;G01N27/08;G01N27/22;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了测量装置和压印设备。测量装置(100)适于测量像用于纳米压印光刻的光刻胶这样的待监控流体(200)的多个性质。测量装置(100)包括：流量电容器装置(101)，具有流体入口及流体出口，流量电容器装置(101)被构造成使待监控流体(200)能从流体入口至流体出口而通过流量电容器装置；以及评估单元(300)，电连接至流量电容器装置(101)，评估单元(300)适于在流体通过期间测定流量电容器装置(101)的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 压印 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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