[发明专利]具有自适应性的抛光头在审
| 申请号： | 201810002749.8 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108044484A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;路新春;陈祥玉 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有自适应性的抛光头,包括：枢轴组件、基体及夹片组件，枢轴组件由轴体及盘体组成，基体上设置有适于与轴体配合的轴孔，夹片组件上设置有适于与盘体配合的凹槽；枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；盘体的外周壁设有环形凸缘，环形凸缘的外周面与凹槽的内周壁线接触。根据本发明的具有自适应性的抛光头，能够保证抛光头的定心功能，提高抛光头稳定性和自适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自适应性 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种具有自适应性的抛光头，包括枢轴组件、基体及夹片组件，所述枢轴组件由轴体及盘体组成，所述基体上设置有适于与所述轴体配合的轴孔，所述夹片组件上设置有适于与所述盘体配合的凹槽；所述枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；其特征在于，所述盘体的外周壁设有环形凸缘，所述环形凸缘的外周面与所述凹槽的内周壁线接触。
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