[发明专利]处理多晶硅还原尾气的系统和方法在审
申请号: | 201810005888.6 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN109985489A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 王朝阳;王洪光;毕明锋;李峰;王飞;彭述才;冯宝军 | 申请(专利权)人: | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
主分类号: | B01D53/14 | 分类号: | B01D53/14;C01B7/07 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 010321 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了处理多晶硅还原尾气的系统和方法。该系统包括:吸收塔,所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口;精馏塔,所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口;第一分凝器,所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口;第二分凝器,所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口。该系统采用四氯化硅作为吸收剂吸收氯化氢,并通过对含氯化氢富液进行精馏,即可实现氯化氢、四氯化硅及高沸物的分离,极大地简化工艺流程,达到了高效、节能、减小投资的目的。 | ||
搜索关键词: | 氯化氢 分凝器 还原尾气 四氯化硅 多晶硅 吸收塔 混合气出口 混合气入口 高沸物 精馏塔 出口 富液 四氯化硅入口 二氯二氢硅 氯化氢出口 富液出口 氢气出口 三氯氢硅 工艺流程 吸收剂 减小 精馏 节能 回收 吸收 投资 | ||
【主权项】:
1.一种处理多晶硅还原尾气的系统,其特征在于,包括:吸收塔,所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口;精馏塔,所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口,所述含氯化氢富液入口与所述含氯化氢富液出口相连;第一分凝器,所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口,所述第一氯化氢混合气入口与所述第一氯化氢混合气出口相连;第二分凝器,所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口,所述第二氯化氢混合气入口与所述第二氯化氢混合气出口相连。
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