[发明专利]一种靶材刻蚀量测量装置有效
| 申请号： | 201810007139.7 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108180814B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 肖亮 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/18 | 分类号： | G01B5/18 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 贾莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种靶材刻蚀量测量装置，涉及物理气相沉积领域，解决人为判断固定点并对该点进行测量，导致靶材刻蚀量的测量精度较低的问题。该靶材刻蚀量测量装置包括采集部和测量部；采集部包括测量针框架以及设置于测量针框架内的多排测量针；多排测量针的测量端用于与靶材的至少一部分刻蚀面相接触，并形成与测量针相接触的刻蚀面相匹配的模拟面；测量部与形成模拟面后的采集部相互对合，测量部用于与模拟面凸起尺寸最大处的测量针的测量端相接触，并测得刻蚀面凹陷的最大深度。该靶材刻蚀量测量装置用于对靶材的刻蚀面的刻蚀深度进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 测量针 靶材 测量 量测量 模拟面 采集 多排 物理气相沉积 面相接触 测量端 最大处 凹陷 对靶 对合 凸起 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，包括采集部和测量部；/n所述采集部包括测量针框架以及设置于所述测量针框架内的多排测量针；所述多排测量针的测量端用于与靶材的至少一部分刻蚀面相接触，并按照所述至少一部分刻蚀面的形状定型；所述多排测量针的测量端在定型后能够拟合出的端面为与所述至少一部分刻蚀面相匹配的模拟面；/n所述测量部与形成所述模拟面后的所述采集部相互对合，所述测量部用于与所述模拟面凸起尺寸最大处的测量针的测量端相接触，并测得所述刻蚀面凹陷的最大深度。/n
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