[发明专利]超声传感器及其制作方法、显示基板及其制作方法在审
| 申请号： | 201810010853.1 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108288669A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 赵磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/113;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超声传感器及其制作方法、显示基板及其制作方法，该超声传感器的制作方法包括：提供一基板；在基板中形成通孔；在基板上形成整层结构层；自基板背离结构层的一侧，以形成有通孔的基板作为阻挡层对结构层进行刻蚀，以在结构层上且与通孔对应的位置处形成空腔。本发明提供的超声传感器及其制作方法的技术方案，可以增大产品尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 超声传感器 制作 结构层 通孔 显示基板 层结构 位置处 阻挡层 刻蚀 空腔 背离 | ||
【主权项】：
1.一种超声传感器的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板中形成通孔；在所述基板上形成整层结构层；自所述基板背离所述结构层的一侧，以形成有所述通孔的基板作为阻挡层对所述结构层进行刻蚀，以在所述结构层上且与所述通孔对应的位置处形成空腔。
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