[发明专利]工件传送装置及方法、工件贴合装置及方法

摘要

本发明的课题在于，与尺寸无关地直接在功能部绷紧的状态下将薄膜状工件向朝向下方的保持面均匀地移交。本发明提供一种工件传送装置，具备：多个机械手部件，其具有用于夹持工件的一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使机械手部件从工件的接收位置经由中间位置朝向向与保持面交叉的方向越过保持面的延长平面地配置的移交位置移动；及保持面，其具有用于保持工件的背面的中央部位的卡盘机构，且以如下方式进行控制：在接收位置使夹持部朝向对边的夹持方向移动，且使机械手部件从接收位置经由中间位置朝向移交位置移动而拉拽工件，在工件沿保持面整体绷紧的状态下利用卡盘机构对背面的中央部位进行保持。

主权项

1.一种工件传送装置，其是单片式工件传送装置，用于接收在表面形成有功能部的大致矩形薄膜状的工件并对其进行保持，且向朝向下方的保持面移送而进行移交，该工件传送装置的特征在于，具备：多个机械手部件，该多个机械手部件具有用于装卸自如地夹持所述工件中的至少一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使所述多个机械手部件从所述工件的接收位置，经由所述工件的背面向与所述保持面交叉的方向分开配置的中间位置，朝向向与所述保持面交叉的方向越过所述保持面的延长平面地配置的移交位置移动；所述保持面，其形成为比所述工件的尺寸小的大致矩形，且具有以所述工件的所述表面朝向下方的方式装卸自如地保持背面的中央部位的卡盘机构；及控制部，其分别对所述多个夹持部的驱动源、所述机械手驱动机构及所述卡盘机构进行动作控制，所述控制部以如下方式进行控制：在所述接收位置使所述多个夹持部朝向所述对边的夹持方向移动，且在所述多个夹持部已向夹持方向移动的状态下，使所述多个机械手部件从所述接收位置朝向所述中间位置移动，使所述工件中的至少所述一组对边从所述中间位置朝向所述移交位置移动而拉拽所述工件，在所述工件沿所述保持面整体绷紧的状态下利用所述卡盘机构对所述背面的所述中央部位进行保持，且在所述移交位置使所述多个夹持部朝向夹持解除方向移动。