[发明专利]工程机械薄膜压力变送器及制造方法在审
| 申请号： | 201810025115.4 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108225627A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 雷卫武 | 申请（专利权）人： | 北京中航兴盛测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种工程机械薄膜压力变送器及制造方法，制造方法包括制造混合电路板；加工引压嘴、电路板支架和壳体；利用离子束溅射技术和精密光刻技术加工敏感元件；将各部件组装焊接并进行疲劳和高低温试验形成工程机械薄膜压力变送器。由于采用了溅射薄膜技术制造压力传感器，敏感材料原子沉积在弹性体上，实现了敏感材料与弹性体的原子融合，使得传感器具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长的优点。结合混合调理电路技术，使薄膜压力变送器同样具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜压力 变送器 工程机械 制造 工作寿命长 敏感材料 电路板支架 高低温试验 混合电路板 离子束溅射 压力传感器 薄膜技术 部件组装 调理电路 光刻技术 敏感元件 原子沉积 引压嘴 传感器 溅射 壳体 焊接 加工 精密 疲劳 融合 | ||
【主权项】：
1.一种工程机械薄膜压力变送器制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.制造由信号调理电路(61)和保护电路(62)组成的混合电路板(6)；S2.采用机械加工的方法制造下端外部具有外螺纹(11)、贯通中心的引压通孔(12)、安装有在所述引压通孔(12)下部的脉冲阻尼器(13)、上部加工有边凸台(14)和顶凸台(15)的引压嘴(1)；S3.采用机械加工方法制造电路板支架(3)和壳体(4)；S4.采用机械加工方法制造敏感元件(2)，利用离子束溅射技术和精密光刻技术在所述敏感元件(2)的上表面制造压力敏感电路(21)；S5.将制造有压力敏感电路(21)的所述敏感元件(2)下部套合在所述引压嘴(1)的顶凸台(15)上并在接合处牢固密封焊接；S6.将所述电路板支架(3)安装在所述敏感元件(2)的上部外缘台阶上并固定；S7.将所述混合电路板(6)安装在所述电路板支架(3)上；S8.通过内引线(8)将所述压力敏感电路(21)与所述混合电路板(6)连接；S9.将所述壳体(4)安装在引压嘴(1)的边凸台(14)上并密封焊接；S10.通过外引线(7)将混合电路板(6)与连接器(5)内部的连接针(9)下端连接；S11.将所述连接器(5)与所述壳体(4)吻合并牢固密封焊接。S12.将所述引压嘴(1)的外螺纹(11)与交变试验机连接，进行压力交变试验；S13.将完成交变试验的产品放入高低温箱中进行高低温试验。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中航兴盛测控技术有限公司，未经北京中航兴盛测控技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810025115.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高灵敏度硅压阻式力传感器
- 下一篇：一种汽车前罩盖缓冲垫动态载荷的测量方法
