[发明专利]一种激光振镜的校正方法及校正装置在审
| 申请号： | 201810034340.4 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108406095A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 李志航;江军;高泽润;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/042 | 分类号： | B23K26/042 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳;陈嘉琪 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光振镜的校正技术领域，具体涉及一种激光振镜的校正方法。包括步骤：准备一高精度平台，并在所述高精度平台上设置有至少两个基片，每一所述基片上平整铺设有贴纸；设置与基片匹配的激光振镜，并分别通过激光振镜发射激光并入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；根据每一基片的矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台，并通过相机获取每一小孔的位置误差值；根据全部小孔的位置误差值，每一激光振镜均同时进行校正。本发明还涉及一种激光振镜的校正装置。使用高精度的运动平台和高分辨率CCD，实现自动连续采集位置信息，一次操作可以实现多次重复使用，既保证了校正精度，又大大缩短了校正所需时间。 | ||
| 搜索关键词： | 激光振镜 校正 高精度平台 小孔 矩阵排布 位置误差 校正装置 贴纸 采集位置信息 高分辨率CCD 多次重复 一次操作 预设位置 运动平台 自动连续 匹配 激光 平整 相机 铺设 发射 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种激光振镜的校正方法，其特征在于，包括步骤：准备一高精度平台，并在所述高精度平台上设置有至少两个基片，每一所述基片上平整铺设有贴纸；设置与基片匹配的激光振镜，并分别通过激光振镜发射激光并入射至基片上，并在贴纸上打出多个矩阵排布的小孔；根据每一基片的矩阵排布的各小孔的预设位置，移动高精度平台，并通过相机获取每一小孔的位置误差值；根据全部小孔的位置误差值，每一激光振镜均同时进行校正，直至全部激光振镜的位置误差值达到预设范围。
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