[发明专利]等离子体源有效
| 申请号： | 201810036200.0 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109119314B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 藤田秀树;糸井骏 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子或电子的引出效率高的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(11)，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部(11a)；气体导入部(31)，向室(11)内导入气体；真空连接器(14)，设置在周壁(111)的与开口部(11a)相对的位置上；天线(15)，基端部(15a)与真空连接器(14)连接，在室(11)内朝向开口部(11a)延伸；第一绝缘体部(21)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的前端部(15b)一侧的第一部位(P1)；第二绝缘体部(13)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的基端部(15a)一侧的第二部位(P2)；以及导体部(16)，覆盖第二绝缘体部(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体源，其特征在于包括：室，呈箱状，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部；气体导入部，通过贯通所述室的周壁的供给通道，将气体导入所述室内；连接器，设置在所述周壁的与所述开口部相对的位置上；天线，基端部与所述连接器连接，在所述室内朝向所述开口部延伸；第一绝缘体部，覆盖所述天线的位于所述室内的前端部侧的第一部位；第二绝缘体部，覆盖所述天线的位于所述室内的所述基端部侧的第二部位；以及导体部，覆盖所述第二绝缘体部。
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